产品展示
0431-89561560
长春市高新区锦河街155号，中国·吉林东北亚文化创意科技园实验楼3层303
ATLEX-1000-L准分子激光器
2024/07/01
产品特点：
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 电晕预电离
· 固态开关
· 延长动态和静态气体寿命（数月）
· 激光头容积6 L
· 全部风冷
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 集成4阀系统，便于气体处理
· 符合欧洲CE标准，符合RoHS规范
· 模块化设计/服务友好
产品参数：
ATLEX-1000-L产品参数 | |||
气体介质 | ArF | KrF | 单位 |
波长 | 193 | 248 | nm |
高压开关技术 | 固态开关 | ||
最大脉冲能量1 | 10 | 15 | mJ |
最大平均功率 | 8.0 | 10.0 | W |
最大重复频率 | 1000 | Hz | |
脉冲宽度2 | 5 – 8 | ns | |
光束尺寸2(V x H) | 6 x 4 | mm | |
光束发散角2(V x H) | 2 x 1 | mrad | |
能量稳定性（标准偏差） | < 2 | % | |
尺寸（长x宽x高） | 600 x 415 x 567 | mm | |
重量 | 70 | kg | |
冷却 | Cooling Air / Optional Liquid | ||
电力需求 | 230 VAC / 10 A / 1 Phase / 50-60 Hz | ||
所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM