产品展示
0431-89561560
长春市高新区锦河街155号，中国·吉林东北亚文化创意科技园实验楼3层303
ATLEX-500-FBG准分子激光器
2024/07/01
德国ATL Lasertechnik生产的ATLEX-FBG系列专为FBG 刻写设计，具备出色的空间相干性指标。
产品特点：
· 软电晕预电离
· 全固态高压脉冲发生器
· 激光头容积 < 3L
· TMC（全金属陶瓷）管路
· 集成真空泵和卤素过滤器
· 全部风冷，主动热管理
· RS-485、RS232、USB及光纤接口
· 可冲洗光具座
· 能量稳定模式
· 符合欧洲CE标准
· 符合RoHS规范
产品参数：
ATLEX-500-FBG产品参数 | |||
气体介质 | ArF | KrF | 单位 |
波长 | 193 | 248 | nm |
高压开关技术 | 固态开关 | ||
最大脉冲能量1 | 10 | 15 | mJ |
最大平均功率 | 4.0 | 6.5 | W |
空间相干性（垂直波束方向） | >300 | >300 | µm |
最大重复频率 | 500 | Hz | |
脉冲宽度2 | 5 – 8 | ns | |
光束尺寸2(V x H) | 4 x 6 | mm | |
光束发散角2(V x H) | 1 x 2 | mrad | |
能量稳定性（标准偏差） | < 3 | % | |
尺寸（长x宽x高） | 540 x 470 x 370 | mm | |
重量 | 60 | kg | |
冷却 | Cooling Air / Optional Liquid | ||
电力需求 | 230 VAC / 6,3 A / 1 phase / 50-60 Hz | ||
所有规格均为典型数据，如有因产品改进而更改的，恕不另行通知。
1 在最低重复频率情况下测得： 应用能量稳定模式将会有10%的输出能量损失。
2 典型值，FWHM